小型勻膠機(jī)

EZ4小型勻膠機(jī)

EZ4小型勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。
EZ4被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

EZ4?產(chǎn)品性能參數(shù)：

• 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
• 速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

• 加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

• 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
• 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

• 可編程5組5步程序
• 寬電壓輸入：AC100-230V

EZ4產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：

• 75W 直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制

• 高清晰文本顯示器
• 可單步和多步勻膠操作

• PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換
• 鋁合金陽(yáng)極氧化外殼，美觀大方
• 耐溶劑PC透明蓋
• 多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)
• HDPE真空吸盤(pán)

EZ4產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)