勻膠顯影機(jī)

SC100-DE勻膠顯影機(jī)

SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

主要性能指標(biāo)：

• 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
• 旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒
• 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）
• 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
• 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
• 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm
• 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
• 支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）
• 標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水）

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：

• 主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級(jí)，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋
• 全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果
• 可實(shí)現(xiàn)zui多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?/li>
• 控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作，使用更加方便
• 顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進(jìn)行配置
• 提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)
• 高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選
• 可添加去邊膠和背膠清洗功能